第九十一章 深硅刻蚀工艺

　　“哦？都有哪些传感器？”

　　孙厂长坐直了身体。

　　“到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器......”

　　陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。

　　既然明白了“他”做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清头绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。

　　更不提，“他”提供了好几种通用结构。杰伊文学网

　　所以，有些传感器，是原来“他”实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。

　　“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

　　“陀螺仪？陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗？”

　　刘院长身边的中年人，站了起来。

　　陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。

　　“您是？”

　　孙厂长回头询问。

　　“我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不问了。

　　“你还没有回答我的问题呢？小伙子！”

　　“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”

　　陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。

　　-------

　　微电子实验室。

　　“你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”

　　张栋被气得浑身发抖。“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！让你一抖，就这么没了！”

　　“没有全废吧。那一半不是还能用吗？”

　　自知犯了大错的成兴，试图分辨。

　　1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。

　　“哦，天啊！我真是受够了。”

　　张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意！让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”

　　“老张，有点耐心。”

　　在旁边工作台做实验的科研人员，边操作，边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”

　　“老师，让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”

　　云丽上前一步。

　　有了台阶下，张栋的态度好了一点。“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。剩下的冯言，自己一组。”

　　被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班女生。

　　在MEMS小组内，人虽然不多，但隐隐分成了几派。

　　于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，干脆是陈泉二人的干姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。

　　而云丽和成兴，被拉入小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事情也有些畏首畏尾。

　　由于相似的处境，两个人最近有点抱团取暖的意思。

　　----------

　　会议室。

　　看到样品，感兴趣的客人，纷纷离开座位，围了过去。

　　“这不对吧。”

　　王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。

　　“什么不对？”

　　冰飞的周总工，就在他的身边。

　　“这种结构，以现在的MEMS工艺，根本加工不出来吧。”

　　王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。“我记得，MEMS所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”

　　牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。

　　王工的专业性评价，大多数人没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。

　　“是的。这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”

　　陈泉没有丝毫慌乱。

　　记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。

　　之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《AppliedPhysicsLetters，应用物理快报》采用有些关系。

　　应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与MEMS有关联的期刊里，最好的一波期刊了。其SCI影响因子超过了4。

　　（真正的MEMS专业期刊，还没有面世。）

　　按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她，都没有任何感觉。

　　前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。

　　例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，干脆苏醒。可现在，没有消息，就是最坏的消息。

　　所以两个人，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。

　　这次的目标，盯叮住了CNS（CELL，SCIENCE，NATURE），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。

　　这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。

　　这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个人，精心选出来的目标。

　　.....

　　“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”

　　王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。

　　“嗯，姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利，就有它一个。”

　　国际专利申请的初期，花钱不算太多，交800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差，MEMS项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。

　　“这个工艺叫什么名字？”

　　“嗯，叫.....”

　　陈泉挠了挠头。

　　所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。

　　“我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”

　　陈泉按照直觉印象，随口起了个名字。名字说出口后，感觉还不错。

　　“深硅刻蚀工艺？那是什么东西？”

　　王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下，这个工艺是如何实现的？”

　　“能倒是能，不过这可就是真正的核心技术了.....”

　　陈泉十分为难，看向四周，满脸的不放心。

　　“王工，你就别难为.....”

　　林书强跑过来帮腔。

　　“哈，小伙子，你小瞧了我。”

　　王工突然虎躯一震，挺直了身体。“只要你能说服我，可以实现眼前的这套陀螺仪，200万的赞助资金，我们航院出了！”

　　“你们航院出了？”

　　陈泉傻眼了。

　　不仅陈泉傻眼了，其他人也都傻眼了。

　　黄楚雄傻眼了，赵良材傻眼了，连林书强都傻眼了。

　　作为校长，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有钱了？

　　航院的刘院长，其实也傻眼了。

　　航院哪里有什么钱啊！

　　但他什么都不说，接着看热闹。

　　......

　　“我们单独聊聊？”

　　赵良材最先反映过来。这位王工，作为航院院长的客人，身份已经呼之欲出了。

　　“好。”

　　王姓中年人直接出手，把讲台上的模型，搂了下来，揣在怀里。“我们走？”

　　.....

　　“等等，等等！等一下！”

　　在一边看热闹，看得正高兴的孙厂长，站了起来。“我怎么觉得不对劲呢？今天的会议主题，不是让我们冰飞对项目进行审查吗？怎么现在就要散会？”

　　晶晶走到唐三身边，就在他身旁盘膝坐下，向他轻轻的点了点头。

　　唐三双眼微眯，身体缓缓飘浮而起，在天堂花的花心之上站起身来。他深吸口气，全身的气息随之鼓荡起来。体内的九大血脉经过刚才这段时间的交融，已经彻底处于平衡状态。自身开始飞速的升华。

　　额头上，黄金三叉戟的光纹重新浮现出来，在这一刻，唐三的气息开始蜕变。他的神识与黄金三叉戟的烙印相互融合，感应着黄金三叉戟的气息，双眸开始变得越发明亮起来。

　　阵阵犹如梵唱一般的海浪波动声在他身边响起，强烈的光芒开始迅速的升腾，巨大的金色光影映衬在他背后。唐三瞬间目光如电，向空中凝望。

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　　顿时，”轰”的一声巨响从天堂花上爆发而出，巨大的金色光柱冲天而起，直冲云霄。

　　不远处的天狐大妖皇只觉得一股惊天意志爆发，整个地狱花园都剧烈的颤抖起来，花朵开始迅速的枯萎，所有的气运，似乎都在朝着那道金色的光柱凝聚而去。

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　他脸色大变的同时也是不敢怠慢，摇身一晃，已经现出原形，化为一只身长超过百米的九尾天狐，每一根护卫更是都有着超过三百米的长度，九尾横空，遮天蔽日。散发出大量的气运注入地狱花园之中，稳定着位面。

　　地狱花园绝不能破碎，否则的话，对于天狐族来说就是毁灭性的灾难。

　　祖庭，天狐圣山。

　　原本已经收敛的金光骤然再次强烈起来，不仅如此，天狐圣山本体还散发出白色的光芒，但那白光却像是向内塌陷似的，朝着内部涌入。

　　一道金色光柱毫无预兆的冲天而起，瞬间冲向高空。

　　刚刚再次抵挡过一次雷劫的皇者们几乎是下意识的全都散开。而下一瞬，那金色光柱就已经冲入了劫云之中。

　　漆黑如墨的劫云瞬间被点亮，化为了暗金色的云朵，所有的紫色在这一刻竟是全部烟消云散，取而代之的，是一道道巨大的金色雷霆。那仿佛充斥着整个位面怒火。

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